四探針測試儀作為一種專業的電阻率測量設備,在半導體行業中扮演著重要角色。本文將介紹四探針測試儀在半導體材料電阻率測量中的關鍵技巧,幫助您提高測量精度。
一、選擇合適的探針頭
四探針測試儀的探針頭選擇對于測量結果的準確性有著很大影響。不同的材料和形狀需要不同的探頭。選擇不當會導致測量誤差,因此需要根據具體材料和測試要求來選擇合適的探頭。我公司四探針測試儀探頭主要有烏針和高速鋼、合金探頭。
四探針測試儀兩款探頭對比
烏針和高速鋼

烏針適用于表面容易氧化的材質,例如最典型的就是硅材料,硬度高(硅材料必須用烏針)。高速鋼適用于表面硬度強的材料,柔韌性好,針不容易斷。
合金探頭

合金探頭:適用于表面涂層的材料和表面強硬度差一點的材質。
二、保持探針與材料的緊密接觸
探針與被測材料表面的接觸質量直接影響測量精度。在測量過程中,應確保探針與材料表面保持緊密接觸,避免因接觸不良而導致的測量誤差。必要時,可以使用適當的壓力來保證接觸質量。
三、精確控制測試電流和電壓
四探針測試儀的測試電流和電壓設置對測量結果有顯著影響。應根據被測材料的特性選擇合適的電流和電壓,并確保這些參數在測試過程中保持穩定。
四、正確處理測量數據
測量數據的正確處理對于獲得準確的電阻率至關重要。應根據測量原理和公式,對數據進行適當的處理和計算,以得到準確的電阻率值。
五、定期校準和維護
為了保證四探針測試儀的測量精度,需要定期對其進行校準和維護。這包括清潔探針和接觸點,檢查儀器的電氣性能,以及根據制造商的指導進行必要的調整。
如您在實際操作中遇到問題,或者需要進一步的技術支持,歡迎聯系我們。我們將提供專業的解決方案和指導。